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超臨界流体入門

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字幕化学工学会超臨界流体部会
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言語Japan
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半導体・MEMSのための超臨界流体|コロナ社 ~ 半導体・MEMSのための超臨界流体 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について,その特長と,乾燥,めっき,薄膜堆積,洗浄など,半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した,超臨界流体のマイクロプロセス

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超臨界水 OshimaAkizuki Laboratory ~ 当研究室の研究分野についてもう少し学びたい、でもいきなり論文はハードルが高いという方に、主に日本語で書かれた書籍や総説を紹介します。 実験室学 ・大島義人 “実験研究の安全構造に関する科学的アプローチの重要性

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流体とは goo Wikipedia ウィキペディア ~ 定義 編集 流体に共通の性質は流動性である。これは体積一定で準静的な変形には力を要しないことであり、さらに言い換えると、静止状態において接触面に平行な内部の力が発生しない(せん断応力、接線応力が発生しない)となる。

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